



应用领域
1. 半导体与光伏
用于干法刻蚀、镀膜、离子注入等设备,提供高洁净真空环境。
2. 石化与化工
在芳烃抽提、油气回收、减压蒸馏等工艺中替代液环泵,避免废水排放,实现溶剂回收。
3. 制药与医药化工
用于结晶、干燥、蒸馏等工序,替代传统水喷射泵,避免有机溶剂污染,提高安全性与环保性。
4. 航空航天
在空间模拟装置中作为前级泵,具备抽除水蒸气与氮氧化物的能力,运行稳定可靠。
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应用领域 1. 半导体与光伏 用于干法刻蚀、镀膜、离子注入等设备,提供高洁净真空环境。 2. 石化与化工 在芳烃抽提、油气回收、减压蒸馏等工艺中替代液环泵,避免废水排放,实现溶剂回收。 3. 制药与医药化工 用于结晶、干燥、蒸馏等工序,替代传统水喷射泵,避免有机溶剂污染,提高安全性与环保性。 4. 航空航天 在空间模拟装置中作为前级泵,具备抽除水蒸气与氮氧化物的能力,运行稳定可靠。 |