




核心优势:
绝对洁净无油:彻底避免了油蒸气对工艺腔室和产品的污染,是半导体、制药等高洁净要求的行业首选。
宽广的工作压力范围:可从大气压直接启动,并维持至高真空,减少机组配置。
出色的介质适应性:能够处理可凝性蒸汽(如水蒸气、溶剂)、微量的液体以及含有粉尘的颗粒物气体。
高能效与低运行成本:采用变螺距等内压缩设计后,功耗显著降低,且无需处理废液,综合运行成本低。
环境友好与安全:无油水污染,且通过闭环设计可完全回收溶剂,满足严格的环保法规,消除了水喷射泵可能形成的爆炸性环境。
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核心优势: 绝对洁净无油:彻底避免了油蒸气对工艺腔室和产品的污染,是半导体、制药等高洁净要求的行业首选。 宽广的工作压力范围:可从大气压直接启动,并维持至高真空,减少机组配置。 出色的介质适应性:能够处理可凝性蒸汽(如水蒸气、溶剂)、微量的液体以及含有粉尘的颗粒物气体。 高能效与低运行成本:采用变螺距等内压缩设计后,功耗显著降低,且无需处理废液,综合运行成本低。 环境友好与安全:无油水污染,且通过闭环设计可完全回收溶剂,满足严格的环保法规,消除了水喷射泵可能形成的爆炸性环境。 |