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工作原理
1.吸气：螺杆反向旋转，进气端齿间容积增大形成负压，气体被吸入
2.输运：气体随螺杆旋转被封闭在齿间容积内，沿轴向向排气端推送
3.压缩：齿间容积缩小，气体被初步压缩
4.排气：压缩后气体通过排气口排出，完成抽气循环。整个过程无润滑油参与，靠螺杆与泵体间隙实现清洁抽气
特点
清洁环保：无油运行，避免油蒸气污染，无废油废水排放
适应性强：可抽除含水蒸气、粉尘及腐蚀性气体，适用复杂
工况
生能稳定：真空度0.1Pa~10Pa，抽速10~1000m3/h
低噪节能：螺杆无接触运行，噪音低，变螺距设计降低能耗
维护简单：结构紧凑，转子无摩擦，故障率低易维修